沈阳慧宇真空为中国科学技术大学国家同步辐射实验室研制的光学谐振腔
成功案例
更新时间：2026-2-10
光学谐振腔装置包括：中红外光学谐振腔、远红外光学谐振腔各一套。
光学谐振腔是由两个球面反射镜M1（上游腔镜）和M2（下游腔镜，中心带有小孔）组成的一套光学系统，为腔内光场提供光学正反馈，使光场不断积累放大并将部分光场能量从M2小孔耦合输出。
该系统的最关键之处在于保证两端反射镜高稳定、高精度对准，其光轴须与电子束在波荡器中的轨道重合。反射镜均需被置于真空镜箱中，且需进行多维高精度的调整。
光学谐振腔系统的主要组件有反射镜、机械调节机构、真空、支撑及控制。