项目概述：

本项目是同位素电磁分离器离子束流诊断系统，设计真空为1×10^-3Pa。

离子束流诊断系统作为同位素电磁分离器的重要组成部分，在束流性能调试、关键参数优化、同位素电磁分离器修能改善以及运行状态反馈等方面用于测量束流的流强等。

设备描述：

三维空间束流监测装置作为离子束流诊析系统的重要部件，其主要用于测量同位素电磁分离器离子束的电流信号。在真空环境中通过小法拉第筒测量三维空间离子束流强度。

三维束流测量诊断系统由轴向移动步进电机、旋转步进电机（带编码器）、光栅尺、波纹管旋转机构、连接法兰、移动架机构、主收集板、法拉第筒、19芯航空插头、支架、钢直尺、行程开关、直线导轨、滚珠丝杆、水冷系统等组成。

工作原理：移动架机构安装7个微型法拉第筒沿主收集板左右移动，通过19芯航空插头将微型法拉第筒施加电压引出到大气一侧，轴向移动步进电机带动滚珠丝杆旋转使移动架机构沿直线导轨方向移动，旋转步进电机通过波纹管旋 转机构实现主收集板的翻转，通过光栅尺读取轴向移动参数反馈给步进电机实现闭环控制。上、下极限位行程开关实现轴向移动过冲保护。连接法兰与同位素电磁分离器连接。

技术参数：

1.真空室的工作真空度为1×10^-3Pa。

2.水平方向运动机构：要求探头在真空室内的安装位置与法兰的距离>610mm，探头沿X方向运动±240mm，运动速度>1mm/s。

3.垂直方向运动机构：要求探头在真空室内的安装位置与法兰的距离>610mm，探头沿Y方向运动±240mm。

4.主收集板：收集板在使用的过程中，可实现翻转，避开束流的传输方向。

5.主收集板：带水冷系统，实现对探头的冷却，并且主收集板平面与法兰平面成45度夹角。

6.束流监测方向：法拉第杯阵列要求运动方向为斜45度角，运动方向与主收集板平面平行。

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