中国科学院研究员为主体的技术团队
先进加工与检测设备
多次承接国际国内重大项目
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医用重离子加速器
装备产业技术创新联盟常务理事单位
主要产品
超高真空场发射、有机小分子提纯、磁控溅射、真空炉、电子束、离子束、分子束真空镀膜、加速器部件、真空器件
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