产品展示：真空应用设备
高真空多功能制膜系统
更新时间：2015-12-24
主要用途：
这是功能齐全、技术性能高、结构复杂的先进设备。由多个真空室组成，抽气系统由分子泵、离子泵分别组成，获得10-5~10-8Pa高真空及超高真空室环境。具有磁控溅射、电子束蒸发、分子束外延束源炉、气路系统、膜厚监测、样品加热、传递、操作手套箱及计算机控制系统。
可以制备包括有机膜、金属膜、介质膜及半导体薄膜等，是一种理想的镀膜设备。
主要用途：
这是功能齐全、技术性能高、结构复杂的先进设备。由多个真空室组成，抽气系统由分子泵、离子泵分别组成，获得10-5~10-8Pa高真空及超高真空室环境。具有磁控溅射、电子束蒸发、分子束外延束源炉、气路系统、膜厚监测、样品加热、传递、操作手套箱及计算机控制系统。
可以制备包括有机膜、金属膜、介质膜及半导体薄膜等，是一种理想的镀膜设备。