产品展示：加速器束线及终端
角分辨光电子能谱光束线装置
更新时间：2015-6-15
产品名称：角分辨光电子能谱光束线装置
产品简介：由超高真空工艺处理真空室，束线，镜箱，闸板阀，超高真空机组、光路组建、真空测量等组成。
主要用途：同步辐射角分辨光电子能谱分析
技术指标：极限真空：5×10-8Pa 真空漏率：<1×10-8Pa·L/s 偏转镜可实现Y、Z、θx、θy、Θq维调节，位移调节分辨率为10μm，角度调节分辨率为5秒，光栅角度扫描范围0～14度，分辨率为0.1秒，狭缝开口范围为2～200，开启调节分辨率为1μm。