沈阳慧宇真空为客户研制的分条电离室
产品展示 / 加速器用诊断元件
更新时间：2026-8-1
技术要求：
真空漏率<5×10-8Pa·1/s；
膜窗有效面积75mm×100mm,膜厚度≤100μm，厚度均匀，薄膜张紧、平整无褶；
满足探针运行有效行程同时定位精度<0.1mm，回程误差<0.2mm；
探头综合误差≤0.5mm；
限位可读；
探针在真空条件及实际安装方式下运动顺畅、平稳，无卡顿、无异响；
可提供测试记录及报告。