产品简介：

该设备主要由水冷真空室、石墨毡保温罩、阳极罩、阴极、样品台、真空室升降装置、气路、真空获得和测量、控温和测温、偏压和阴极电源、腔体支架等部分组成，用于样品表面渗氮等工艺实验研究。

技术指标：

• 极限真空度：10^-2Pa；
• 温度：1000°C，具有控温和多点测温功能；
• 系统停泵关机12小时后真空度：≤2Pa；
• 气路：三路工作和反应气体，质量流量计控制。气体经混气后进入真空室；
• 压力控制：设定反应气体的压力，通过调节真空阀门开启大小，稳定反应时真空要求；
• 五路温度显示（巡检方式），一路与阴极电源相关联控制温度；
• 六路测量电极测量相应的等离子体空间电位，（0~-200vdc）；一路测量电极测量电流（偏流），（0~-1A直流）；电流和电压在仪表相应的显示表上显示；
• 阴极电源：电压 0～-1100VDC，电流10A；
• 偏压电源：电压 0～-500VDC，电流2A；
• 辅助阴极电源：电压 0～-800VDC，电流5A。

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