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高真空离子注入装置
产品展示 / 离子注入装置

高真空离子注入装置

高真空离子注入装置

高真空离子注入装置

主要用途:

在高真空条件下样品可加热,100KV进行离子束注入,进行材料表面改性。
真空度:5×10-5Pa
加热温度:500°C
离子注入:100KV

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