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沈阳慧宇真空为吉林大学超硬材料国家重点实验室研制的高品级立方氮化硼膜外延生长实验平台
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沈阳慧宇真空为中国原子能科学研究院研制的LEP法拉第筒
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沈阳慧宇真空为中科院近代物理所研制的探测器反康组件
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