HD系列金属有机源化学气相沉积设备（聚光型高效太阳能电池制备系统）
更新时间：2015-6-15
主要用途：
MOCVD方法制备的硅基化合物半导体叠层太阳能电池，使用聚光技术，提高太阳能电池的光电转换效率，为制造低成本的高效太阳能电池批量生产提供一项可行的技术和设备，具有广阔的规模化工业生产应用前景。
聚光型高效太阳能电池利用太阳光与材料相互作用直接产生电能。无污染不破坏生态平衡，是取之不尽的低成本可再生能源，具有非常广阔的应用前景。
太阳能电池板：功率可做到3KW/单元，光电转换效率达25%，使用寿命可达10年以上，与太阳光照射同步运行，准确度高。
用化学气相沉积方法制备薄膜，成膜速率高，制膜材料为金属化合物及合金。
具有专门设计的喷淋式配气源，使反应气体均匀的在样品表面反应，制备出高质量的各种薄膜、太阳能电池膜等。
设备经改进设计后，可实现化学气相沉积法、外延生长法用于石墨烯制备工艺研究。
技术指标：- 极限真空：6.6×10-4Pa
- 气源系统漏率：<10-8Pa·L/S
- 样品加热温度：800°C 1200°C
- 样品在50mm范围内均匀性±5%
- 样品在真空条件下升降20mm，自转0～600转/分，可调
