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产品展示:超高真空蒸发镀膜装置
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超高真空蒸发镀膜装置
更新时间:2015-6-15

蒸发镀膜装置

蒸发镀膜装置

蒸发镀膜装置

 

产品简介:

  转动升降样品台
  转动升降样品台特点:
  为超高真空蒸发镀膜装置设计的转动升降样品台可以准确、方便的更换掩膜板,镀制各种图案的薄膜,如有机发光材料薄膜等。
  1、进口焊接波纹管密封性好,上下位移轻便准确,精度可达0.1mm,保证在真空条件下,通过真空室外机械手准确取送、更换掩膜板。
  2、样品尺寸最长100×100,可以装多种样品,电动转动10~30转/分可调,保证镀膜均匀性。
  3、配有手动挡板,开闭方便,保证镀膜精确。
  蒸发镀膜装置主要用途:
  本装置用于实验室制备薄膜材料,可提供一个超高真空环境蒸镀金属材料金、银、铬、铝等。特别适用于蒸镀有机发光材料薄膜。
主要技术指标:
  1、蒸发室尺寸:ø320×360,双层水冷。
  2、极限真空度:采用分子泵机组并具有旁抽功能。
  极限真空:5×10-6pa。
  3、样品尺寸:100×100,电动自转。转速可调。蒸距±20mm可调。
  4、三组陶瓷封接水冷蒸发电极,200A/组,12V,每组具有挡板和隔板,防止交叉污染。
  5、一台蒸发电源,手动切换至每个蒸发源。
  6、具有膜厚监测功能配两个探头。
  7、总功率:5KW。
特点:
  1、分子泵无污染真空系统,金属波纹管真空管路及进口真空卡箍等器件保证洁净的蒸镀环境,成膜质量高。
  2、功能齐全,样品可升降,旋转,成膜均匀性好。
  4个蒸发源均配制各种档板,可单蒸,共蒸制备各种膜。
  配备各种掩膜板,可蒸镀各种图案膜。
  3、电动升降转动上盖,更换样品及膜材方便可靠。
  4、前置蒸发电极滑板锁紧机构切换,接触性好,操作简便。
  5、膜厚探头,可控膜厚,适用多层膜蒸镀。

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