产品简介：

　　转动升降样品台
　　转动升降样品台特点：
　　为超高真空蒸发镀膜装置设计的转动升降样品台可以准确、方便的更换掩膜板，镀制各种图案的薄膜，如有机发光材料薄膜等。
　　1、进口焊接波纹管密封性好，上下位移轻便准确，精度可达0.1mm，保证在真空条件下，通过真空室外机械手准确取送、更换掩膜板。
　　2、样品尺寸最长100×100，可以装多种样品，电动转动10～30转/分可调，保证镀膜均匀性。
　　3、配有手动挡板，开闭方便，保证镀膜精确。
　　蒸发镀膜装置主要用途：
　　本装置用于实验室制备薄膜材料，可提供一个超高真空环境蒸镀金属材料金、银、铬、铝等。特别适用于蒸镀有机发光材料薄膜。
主要技术指标：
　　1、蒸发室尺寸：ø320×360，双层水冷。
　　2、极限真空度：采用分子泵机组并具有旁抽功能。
　　极限真空：5×10^-6pa。
　　3、样品尺寸：100×100，电动自转。转速可调。蒸距±20mm可调。
　　4、三组陶瓷封接水冷蒸发电极，200A/组，12V，每组具有挡板和隔板，防止交叉污染。
　　5、一台蒸发电源，手动切换至每个蒸发源。
　　6、具有膜厚监测功能配两个探头。
　　7、总功率：5KW。
特点：
　　1、分子泵无污染真空系统，金属波纹管真空管路及进口真空卡箍等器件保证洁净的蒸镀环境，成膜质量高。
　　2、功能齐全，样品可升降，旋转，成膜均匀性好。
　　4个蒸发源均配制各种档板，可单蒸，共蒸制备各种膜。
　　配备各种掩膜板，可蒸镀各种图案膜。
　　3、电动升降转动上盖，更换样品及膜材方便可靠。
　　4、前置蒸发电极滑板锁紧机构切换，接触性好，操作简便。
　　5、膜厚探头，可控膜厚，适用多层膜蒸镀。

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