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产品展示:超高真空蒸发镀膜装置
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ZZ系列真空镀膜设备
更新时间:2015-6-15

ZZ系列真空镀膜设备

主要用途:

真空蒸发镀膜设备具有立式、卧式和箱型等结构不锈钢真空室,主要用于真空蒸发金属或其他材料以获得需要的膜层。可制备光学膜、半导体膜、金属膜等,广泛应用于电子学、 材料科学、光学、精密加工等领域的科研与生产中。

技术指标:

  • 真空室尺寸:(内径)450×550(高)
  • 极限真空:6.6×10-5Pa (分子泵系统)
  • 蒸发源:电阻式2-7对
  • 功  率:2-3KW
  • 样品尺寸:直径300mm.
  • 烘烤温度:200°C.
  • 离子轰击:0.6KW    3KV(D.C)

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