可用于制备金属膜、介质膜以及实验室新材料研究领域。
1、极限真空度：3×10^-5Pa.
2、真空室：内径400×350，样品架在真空室上盖上，尺寸直径20，电动、手动升降，转速10-60转/分可调；加热温度500°C,程序控温；靶尺寸：直径60，每靶均可手动 相对样品移动，移动距离40mm。
3、电源：直流电源两台，功率：500W；射频电源一台，功率500W
4、日本原装质量流量计，精确设定进气量。美国产水流开关控制溅射靶枪冷却水的流量，避免由于水量不足损坏溅射靶枪。

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