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超高真空高精度四维样品架
更新时间:2015-12-26

超高真空高精度四维样品架

步进电机光栅尺定位,精密导轨、滚珠丝杠,精密结构。

用于各种真空设备,用于夹持操纵样品、移位、转动,同时可对样品进行加热处理,电动、手动。

  • 漏率:<10-8Pa·L/S
  • 耐烘烤温度:200°C
  • 样品加热温度:600°C
  • X: ±30mm 0.01mm
  • Y: ±40mm 0.01mm
  • Z: ±40mm 0.01mm
  • Q: 360° 手动

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