真空应用设备

为中山大学研制的太阳能电池多腔体高真空薄膜沉积系统
为中科院近代物理所研制的辐照腐蚀协同作用实验装置
为东北大学连轧国家实验室研制的带钢连续模拟退火实验系统

高真空团簇沉积系统
高真空功能薄膜材料制备系统
为中国科技大学研制的大型离子束刻蚀装置

高真空多功能薄膜材料制备系统
超高真空多功能薄膜制样系统
高真空多功能制膜系统
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